large scale integrated circuit

素子の集積度の高い集積回路(IC)。

過去にはVLSIやULSIという分類がされていたが、高集積が進みLSIという呼び方が一般的となった。

このLSIの製造工場でライトガイドを多く見掛ける。
前工程では、基板であるwaferの検査から、フォトリソ工程の出射、膜厚測定やパターン検査等の検査措置の画像処理。後工程では、BGAの検査装置等、多岐に渡る。